Трубчатая печь
Процессы:
- Полупроводниковая диффузия
- Полупроводниковый шарнир равноугловых скоростей
- Полупроводниковый отжиг
- Полупроводниковая эпитаксия
Диапазон температур:
200°C - 1750°CАтмосфера:
- Водород
- Азот
- Силан
- Аммиак
- иная
Тип печи:
- Вертикальная трубная
- Горизонтальная трубная
Материал труб:
- Кварц
- Керамика SiC Al2O3
- Нержавеющая сталь